比如,采用射频等离子体技术,可以用SiCl4和NH3为原料合成纳米氮化硅(Si3N4),Si3N4的产率最高时氨气与Si3N4的最佳摩尔比为6∶1。该方法属于气-气反应合成,反应速率快,制备的粉末粒度微细。又如,以乙醇溶解的Fe(NO3)3·9H2O和Zn(NO3)2·6H2O的溶液为前驱体,采用载气携带雾化的前驱体液滴送入射频等离子体中可合成纳米级尖晶石结构的ZnFe2O4,同时,还有部分的铁磁性的ZnFe2O4生成。该方法充分利用等离子体的高温环境,使反应原料的雾化液滴发生了气相等离子合成反应。还有,采用射频等离子体可以合成纳米TiCN粉末,所获得的粉体平均粒径可小于30nm,其中前驱体粉末在高于其沸点的等离子体区域的停留时间和等离子体的化学成分,决定了最终制备粉末的相组成。
另外,采用机械混合的La2O3和B粉为原料,经过射频等离子体处理,可合成制备出LaB6,平均粒径为10~50nm,说明射频等离子体不仅可以应用于气-气合成反应也可以应用于和固-固合成反应。
另据报道,以Ni(OH)2和NiCO3为原料,通过射频等离子体辅助氢还原处理,可以得到球形纳米Ni粉。所获得的纳米Ni粉分散性良好,粒度在60~100nm,振实密度为3.7g/cm3。该方法利用等离子体的高温使Ni(OH)2和NiCO3原料粉末发生分解反应,制备出纳米级微细金属粉末。可以看出,利用射频等离子的高温特性,可为分解反应提供热源和提供反应气体的气氛环境,使射频等离子体广泛应用于不同状态的前驱体原料进行合成反应。
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