1、组织应力
渗氮过程中氮原子渗入工件表层，使表层金属晶格常数增大，引起晶格畸变，产生体积膨胀，致使渗层对心部产生张力作用，同时心部对渗层又施加压应力，从而形成表层受压、心部受拉的组织应力，进而使渗氮件产生微量的畸变。
2、机加工残余应力
机加工残余应力释放会使工件产生畸变，必须去应力处理。去应力处理的温度应稍低于调质的回火温度。对于精密件，去应力处理后尽可能缓冷。
3、工件结构
工件的结构是影响渗氮畸变的一个主要因素。简单将，工件的对称性好，畸变就小；工件不对称，结构复杂，厚薄相差大，则会造成较大的渗氮畸变。
4、预处理
渗氮工件的预处理十分关键，一般采用调质。调质时，若淬火温度低，会产生游离铁素体，增加渗氮后组织的不均匀性，成为潜在的应力源，很可能导致工件变形。若回火温度低或回火不充分，在后续渗氮过程中会因应力的释放而产生畸变，因此回火温度应高于渗氮温度20℃左右。
5、装炉方式
工件在渗氮装炉时，若处于非自由状态，则会由于自重而产生附近应力，导致塑性变形。原则上应使工件重心通过中心，处于自由吊挂状态。若工件结构不对称，尽可能对称放置。具体工件，如细长轴类应垂直挂放；大凸轮用芯轴垂直串联，并将凸轮壁厚处朝下放置。
6、渗氮工艺
渗氮温度越高，升温和降温越快，工件的畸变倾向就越大。升温应采用阶梯式升温工艺。
渗氮时间应控制适当，避免因渗氮时间过长而导致工件畸变。
炉温应均匀，误差在±5℃范围之内，否则会产生附近热应力，造成氮的分解不均，致使炉内各点氮浓度不均匀，渗氮层薄厚不一致，增大畸变。
7、锻造和正火工艺
由于材料锻造、正火后存在魏氏组织、带状组织，会导致渗氮后工件畸变量超差，采用改善锻造和正火工艺、平放装炉、留磨削余量等措施可以控制。
渗氮畸变是多种因素共同作用的反映，要综合分析和考虑各种影响因素，实施合理的控制畸变操作，才能最大限度控制神氮件畸变，达到渗氮目的。
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