最常用的深冷设备都采用液氮致冷 ,它既经济又方便 ,一般用液氮深冷罐来存储液氮。国内外众多学者和厂家研制了多种气体制冷的液氮深冷设备 ,其中天津市热处理研究所于 1989年研制的液氮汽化型深冷箱 ,温度调节范围为常温至 - 180℃ ,液氮消耗量为每千克工件 0 .7kg液氮。华中理工大学于 93年研制的嵌套式深冷设备采用了双重致冷方式 ,即外层箱机械致冷至 - 18～ - 2 4℃ ,内层箱采用液氮制冷至 - 15 0℃ ,温度偏差为 3℃以内。中科院低温技术实验中心于 96年研制的深井式冷处理装置 ,最低工作温度为 - 10 0℃ ,温度偏差为 2℃以内 ,升、降温速率为 5～ 4 0℃ /h ,不仅可调节还可以自动控制。
此外国内也有一些从国外引进的深冷处理设备 ,如宝钢双频淬火车间引进的轧辊深冷装置 ,采用液氮制冷 ,最低温度可达 - 180℃以下。在美国 ,六七十年代出现了许多液氮气体法的深冷设备 ,如BOC公司的Ellenite设备 ,可以均匀的冷却 ,精确控温。且可以在 - 15 0℃保温。八十年代以来 ,出现了电脑控制升降温和处理飞机机翼的大型液氮深冷设备 ,如Cosmos公司的CI系列带电脑控制的深冷设备。采用固化的程序严格控制升温降温速度 ,可实现 -190℃下的长时超低温保温。工件处理周期为 4 0～72h。
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