除非上道工序对应的沟道或滚道磨削后的表面形状精度较低，轴承套圈超精加工一般不会改变加工面的形状精度和位置精度。轴承套圈超精加工“是一种用细粒度的磨具对工件施加很小的压力，并作往复振动和慢速纵向进给运动，以实现微量磨削的一种加工方法”。
超精加工一种说法是由美国哥赖斯拉公司的维拉斯发明的，当时由于汽车车轮的滚子轴承经常产生异常的振动和噪声，问题出于轴承滚子在轴承套圈表面形成压痕所致。经过采用软材料研磨轴承滚道表面之后，不但可以避免使轴承套圈工作表面产生压痕，而且还使得振动和噪声显著降低了。维拉斯把这一加工方法实现了机械化，这就是最早的轴承套圈超精机。轴承超精加工虽然发明在美国，但是现在在欧洲和日本得到进一步发展，尤其是德国Thielenhaus公司，在轴承超精加工领域的研发技术居世界领先水平。超精研的工件旋转速度、施加于油石上的单位面积的压力、油石的振荡频率和振幅是超精研加工的主要工艺参数，这些参数的选择直接影响超精机加工工件的加工表面质量。就加工方式来讲，一般分为采用一种油石和采用多种油石两种。前者是采用一块油石把工作条件分为两段，称为一序两段法。初超时，选择大的切削角，加大油石压力，就会使磨粒大量的破碎和脱落，尽可能地把前道工序的加工痕迹去掉。前道工序的痕迹去掉后，加工表面呈梨皮形状，就得到人们称之为的超精加工的磨纹，这时就把切削角减小，降低油石压力，于是磨粒的切削作用也就降低，继续加工是把粗超时的痕迹除掉，逐渐得到平滑的加工表面，这时磨粒与加工表面的接触面积增加，进一步增加接触面积，油石就会气孔堵塞，最后致使切削完全停止，只作光超。一般情况下，粗超时采用较低的工件转速，较高的油石振荡频率和较高的油石压力，以获得较高的生产效率；精超阶段则采用较高的工件转速，较低的油石振荡频率和较低的油石压力，以得到理想的加工表面。一般粗超时切削角为20°-40°，精超时切削角为10°-20°；油石压力一般在1-12kgf/平方厘米；振幅一般为1-6mm；振荡频率一般为800-3000Hz；而国产设备工件主轴最好的水平也就是8000rpm。由于国产油石生产工艺的局限性，国内的超精机普遍采用多工位法加工。
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